میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی

میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی ( مخفف انگلیسی: STEM ) نوعی میکروسکوپ الکترونی عبوری ( مخفف انگلیسی: TEM ) است. در این نوع میکروسکوپ الکترونی همچون میکروسکوپ الکترونی عبوری تصویر با عبور الکترون ها از نمونه ای با ضخامت کم شکل می گیرد، با این تفاوت که بر خلاف TEM، در STEM باریکهٔ الکترونی در نقطه ای کوچک ( معمولاً با اندازهٔ ۰٫۲ - ۰٫۰۵ نانومتر ) متمرکز شده و در حرکتی رفت و برگشتی سطحی مستطیل شکل از نمونه را جاروب می کند. سامانهٔ هدایت الکترون بگونه ای طراحی شده است که در هر نقطه از نمونه باریکهٔ الکترونی به طور موازی با محور نوری میکروسکوپ نمونه را می روبد. روبش رفت و برگشتی باریکهٔ الکترونی بر سطح نمونه باعث می شوند STEM روشی مناسب برای روش های تحلیلی مانند تصویربرداری زمینه تاریک با کنتراست متناسب با عدد اتمی توسط حسگر حلقه ای ( Z - contrast annular dark - field imaging ) ، نقشه گیری طیفی توسط طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس ( EDX ) یا طیف سنجی انرژی از دست رفتهٔ الکترون ( EELS ) می سازد. این سیگنال ها می توانند به طور همزمان دریافت شوند که این خود امکان ارتباط مستقیم بین تصویر و اطلاعات طیفی را فراهم می کند.
یک STEM نوعی در حقیقت یک TEM مجهز به عدسی های مغناطیسی، حسگرها و نیز مدارهای الکترونیکی ای ست که امکان تغییر از وضعیت STEM به TEM را فراهم می آورد. با این حال میکروسکوپ هایی که به طور مشخص تنها STEM باشند نیز تولید می شوند.
میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی با تفکیک بالا نیاز به محیطی کاملاً پایدار دارد. برای دستیابی به تصویری با تفکیک پذیری اتمی در STEM، میزان لرزش، تغییرات دما، میدان های مغناطیسی و ارتعاشات صوتی در اتاق میکروسکوپ باید محدود باشد. [ ۱]