سامانه های میکرو الکترومکانیکی، ( به انگلیسی: MEMS:Microelectromechanical systems ) فناوری سامانه های بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است.
در حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع ( IC ) ساخته می شوند ( همانند فرایندهای CMOS, Bipolar یا BICMOS ) ، عناصر میکروماشین ها از طریق فرایندهای ماشین کاری میکرونی ( Micromachining ) تولید می شوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر ( Wafer ) برداشته شده یا لایه های جدیدی به آن اضافه می شود. MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشین کاری میکرونی، نوید تحول را در تقریباً هرنوع محصولی می دهد تا به این ترتیب به «نظام روی یک تراشه» جامه عمل بپوشاند. MEMS فناوری واقعاً توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای «میکروسنسورها» و میکرو محرکها و به همراه آوردن توانایی محاسبات دستگاه های میکروالکترونیکی، موجب پیشرفت در تولیدات هوشمند می شود. MEMS همچنین فناوری بسیار گسترده و مستعدی است، چه در کاربرد و چه در نحوه ساخت و طراحی ابزارها. یکی از جدیدترین کاربردهای آن گرد هوشمند می باشد.
مدارهای پیوسته میکروالکترونیکی ( IC ) می توانند به عنوان مغز متفکر سامانه ها باشند و MEMS با اضافه کردن «چشم» و «بازو»، این قدرت تفکر را توسعه می دهد تا این میکروسامانه ها بتوانند محیط اطرافشان را حس کرده و کنترل نمایند. این حسگرها در ساده ترین حالت خود با کمک اندازه گیری پدیدههای مکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمع آوری می کنند. پس از اخذ اطلاعات از حس کننده ها، دستگاه های الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیم گیری خود، محرکها را به پاسخ هایی چون: حرکت، جابجایی، تنظیم کردن، پمپ کردن و فیلتر کردن وادار کرده، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت می کنند. از آنجا که دستگاه های MEMS همانند ICها با تکنیک های ساخت ناپیوسته ساخته می شوند، می توان سطح بسیار بالایی از کارکرد، اطمینان و پیچیدگی را با هزینه اندک بر روی تراشه کوچک سیلیکونی شکل داد.
فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد، مثل:
• میکروسامانه های واکنش های زنجیره ای پلیمراز ( PCR ) برای تقویت و شناسایی DNA
• میکروسکپهای تونل زنی پیمایشگر ( STM ) که با فرایندهای ماشینکاری میکرونی ساخته شده اند
• تراشه های زیستی شناساگر عوامل خطرناک شیمیایی و بیولوژیکی
• فناوری جهشی میکروسامانه ها جهت غربال و انتخاب سریع دارو
این نوشته برگرفته از سایت ویکی پدیا می باشد، اگر نادرست یا توهین آمیز است، لطفا گزارش دهید: گزارش تخلفدر حالی که قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع ( IC ) ساخته می شوند ( همانند فرایندهای CMOS, Bipolar یا BICMOS ) ، عناصر میکروماشین ها از طریق فرایندهای ماشین کاری میکرونی ( Micromachining ) تولید می شوند به این ترتیب که بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر ( Wafer ) برداشته شده یا لایه های جدیدی به آن اضافه می شود. MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشین کاری میکرونی، نوید تحول را در تقریباً هرنوع محصولی می دهد تا به این ترتیب به «نظام روی یک تراشه» جامه عمل بپوشاند. MEMS فناوری واقعاً توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای «میکروسنسورها» و میکرو محرکها و به همراه آوردن توانایی محاسبات دستگاه های میکروالکترونیکی، موجب پیشرفت در تولیدات هوشمند می شود. MEMS همچنین فناوری بسیار گسترده و مستعدی است، چه در کاربرد و چه در نحوه ساخت و طراحی ابزارها. یکی از جدیدترین کاربردهای آن گرد هوشمند می باشد.
مدارهای پیوسته میکروالکترونیکی ( IC ) می توانند به عنوان مغز متفکر سامانه ها باشند و MEMS با اضافه کردن «چشم» و «بازو»، این قدرت تفکر را توسعه می دهد تا این میکروسامانه ها بتوانند محیط اطرافشان را حس کرده و کنترل نمایند. این حسگرها در ساده ترین حالت خود با کمک اندازه گیری پدیدههای مکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمع آوری می کنند. پس از اخذ اطلاعات از حس کننده ها، دستگاه های الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیم گیری خود، محرکها را به پاسخ هایی چون: حرکت، جابجایی، تنظیم کردن، پمپ کردن و فیلتر کردن وادار کرده، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت می کنند. از آنجا که دستگاه های MEMS همانند ICها با تکنیک های ساخت ناپیوسته ساخته می شوند، می توان سطح بسیار بالایی از کارکرد، اطمینان و پیچیدگی را با هزینه اندک بر روی تراشه کوچک سیلیکونی شکل داد.
فناوری MEMS توانایی کشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد، مثل:
• میکروسامانه های واکنش های زنجیره ای پلیمراز ( PCR ) برای تقویت و شناسایی DNA
• میکروسکپهای تونل زنی پیمایشگر ( STM ) که با فرایندهای ماشینکاری میکرونی ساخته شده اند
• تراشه های زیستی شناساگر عوامل خطرناک شیمیایی و بیولوژیکی
• فناوری جهشی میکروسامانه ها جهت غربال و انتخاب سریع دارو
