واژهٔ خدا یا خدای از
فارسی میانهٔ xwadāy به معنی «ارباب» و «پروردگار» و آن نیز مرتبط با واژهٔ
اوستایی xᵛaδāta- (𐬓𐬀𐬜𐬁𐬙𐬀) به معنی «قائم به خود» یا «آفریدهٔ خود» است.
واژهٔ خدا را در گذشتهٔ
ادبیات به صورت خداوند نیز نوشته اند و به معنی مالک و صاحب و دارنده نیز به کار برده اند. اگر خداوند به صورت ترکیب لغوی به کار برده شود (ترکیب وصفی یا
ترکیب اضافی یا غیره) به معنای مالک و صاحب و دارنده است؛ چنان که
سعدی می گوید: «وگرچه به مکنت قوی حال بود / خداوندِ جاه و زر و مال بود»
«خداوند» و «خداوندگار» از القاب پادشاهان و حاکمان نیز بوده است. (خداوندگار عالم، خداوند عالم، خداوندگار ما، و غیره)
واژهٔ مرتبط
فارسیِ خدیو، که هم معنی «خدا» ست، برگرفته از واژهٔ
بلخیِ xoadēo (χοαδηο، به معنی «ارباب») است. این واژهٔ بلخی معادل فارسی میانهٔ xwadāy و xwadāwan و
سغدیِ xwtʾw است که همگی این واژه ها ترکیبی از دو
بنِ *xwa- (به معنی «خود») و یکی از حالت های بنِ *taw- (به معنی «توانا بودن») هستند.
سیمز ویلیامز واژهٔ بلخی را ترجمهٔ (calque) واژهٔ
یونانیِ auto-kratōr (αὐτοκράτωρ، به معنی «امپراتور») دانسته است که ترکیبی است از autos (به معنی «خود») و kratos (به معنی «توانایی»).