[برق و الکترونیک] میکرولیتو گرافی فرایند ف نوشتن الگوهای نازک - خط بر روی سطح یک پولک نیمرسانا برای ساختن یک مدار مجتمع شکل دقیقی از لیتوگرافی می تواند خطوطی با پهنای میکرومتری بر روی زیر ساخت پوشیده شده با ماده مقاوم در برابر نور به وجود آورد . ماده ی مقاوم در برابر نور از طریق پوششی در معرض نور فرابنفش، پرتو الکترونی با اشعه x قرار می گیرد .
