پمپ انتشار روغن

پمپ انتشار روغن ( Diffusion pump ) ، از جمله پمپ هایی است که برای خلأ بالا تا محدوده ۶ - ^۱۰ mbar و حتی بالاتر مورد استفاده قرار می گیرد. [ ۱] در پایین پمپ، روغنی با ویسکوزیته نسبتاً کم، حرارت داده می شود تا به صورت بخار درآید. بخار ایجاد شده در راستای لوله مرکزی، به سمت بالا حرکت می کند. جریان بخار روغن به یک چتر برخورد نموده و به پایین بازمی گردد. مولکول های گازی، در جریان رو به پایین مذکور، گیر افتاده و به سمت پایین پمپ هدایت می شوند. مولکول های گازی جمع شده در قسمت پایین پمپ، توسط پمپ مکانیکی به سمت خارج هدایت می شوند. روغن بخار با برخورد با جداره سرد محفظه پمپ انتشار روغن، مجدداً مایع شده و به سمت منطقه گرم حرکت می کند. تکرار پیوسته مراحل فوق، منجر به ایجاد خلأ بالا می شود. پمپ های انتشار روغن معمولاً مجهز به چندین چتر هستند که هر یک به نوبه خود به عنوان یک مرحله به دام انداختن مولکول های گازی و افزایش خلأ عمل می کنند. حداکثر خلأ ایجاد شده توسط پمپ های انتشار روغن ۸ - ^۱۰ mbar است. استفاده از بخار روغن در ایجاد خلأ در پمپ های انتشار روغن منجر به باقی ماندن مقادیر بخار روغن در محفظه می شود. بخار روغن مورد استفاده در پمپ انتشار روغن، معمولاً روی کلیه سطوح محفظه خلأ و نمونه رسوب می کند. [ ۲]