رسوب کندوپاش

رسوب کندوپاش یک روش لایه نشینی از فاز بخار است که برای رسوب لایه نازک می باشد. این شامل پرتاب مواد از یک «هدف» که منبعی است روی «زیر لایه» مانند ویفر سیلیکونی. کندوپاشی انتشار مجدد مواد ته نشین شده در فرایند رسوب توسط بمباران یونی یا اتمی است. [ ۱] [ ۲] اتم های پرتاب شده از هدف دارای توزیع انرژی گسترده ای هستند که معمولاً تا ده ها الکترون ولت می رسد. یون های پراکنده شده ( معمولاً فقط بخش کوچکی از ذرات خارج شده یونش می شوند - حدود ۱درصد ) می توانند از هدف در خطوط مستقیم پرتاب شوند و با انرژی به لایه ها یا محفظه خلاء ضربه بزنند ( باعث پاشش مجدد ) . از طرف دیگر، در فشارهای بالا گاز، یون ها با اتم های گاز که به عنوان محدود کننده عمل می کنند و به صورت پراکنده حرکت می کنند برخورد می کنند و به زیرلایه ها یا دیواره محفظه خلاء می رسند ومتراکم می شوند. گازمورد استفاده درکندوپاشی اغلب یک گاز بی اثر مانند آرگون است. برای انتقال تکانه مؤثر، وزن اتمی گاز مورد استفاده در کندوپاشی باید نزدیک به جرم اتمی هدف باشد، بنابراین برای ایجاد رسوب کندوپاش عناصر سبک نئون مناسب تر است، در حالی که برای عناصر سنگین از کریپتون یا زنون استفاده می شود. [ ۳] از گازهای واکنش پذیر نیز می توان برای کندوپاشی استفاده کرد. این ترکیب می تواند بر روی سطح هدف، در حین پرواز یا روی زیر لایه با توجه به پارامترهای فرایند تشکیل شود. در دسترس بودن بسیاری از پارامترها که رسوب کندوپاش را کنترل می کنند، آن را به یک فرایند پیچیده تبدیل می کند، اما به کارشناسان اجازه می دهد تا درجه بالایی از کنترل روی رشد و ریزساختار فیلم را داشته باشند.
یکی از اولین و مهمترین کاربردهای تجاری گسترده رسوب کندوپاش، در تولید هارد دیسک کامپیوتر است. کندوپاش به طور گسترده در صنعت نیمه هادی ها برای رسوب دادن لایه های نازک از مواد مختلف بر روی تراشه ها استفاده می شود. در کاربردهای نوری و بصری نیز برای ایجاد پوشش های نازک ضد انعکاس روی شیشه از این روش استفاده می کنند. به دلیل اینکه این روش در دماهای پایین انجام می شود، روشی ایده آل برای رسوب لایه نازکی از فلزات برای تولید ترانزیستورها است. یکی دیگر از کاربردهای این روش، پوشش های کم تشعشع روی شیشه های دوجداره است. این پوشش چند لایه حاوی اکسیدهای نقره و فلزاتی مانند اکسید روی، اکسید قلع یا دی اکسید تیتانیوم است. صنعت پوشش دهی ابزار با استفاده از رسوب نیتریدها مانند نیترید تیتانیوم که پوشش سخت طلایی رنگ را ایجاد می کند. این روش همچنین به عنوان فرآیندی برای ایجاد لایه فلزی ( به عنوان مثال آلومینیوم ) در طول ساخت CD و DVD استفاده می شود.