انباشت در خلاء ( به انگلیسی: Vacuum deposition ) دسته ای از فرایندهاست که برای انباشت لایه هایی از مواد به صورت اتم - به - اتم یا مولکول - به - مولکول بر روی سطوح جامد از آنها استفاده می شود. این فرایندها در فشارهایی خیلی پایین تر از فشار اتمسفر یا به عبارتی در خلاء انجام می شوند. ضخامت این لایه می تواند از یک اتم تا چند میلیمتر بوده و ساختاری ساده ایجاد می گردد. در این فرایندها می توان لایه های مختلفی از مواد مختلف را بر روی هم انباشت و برای مثال خواص اپتیکی خاصی ایجاد کرد. این فرایندها را می توان بر اساس منبع بخار مورد استفاده طبقه بندی کرد: در فرایند انباشت بخار فیزیکی از یک منبع جامد یا مایع و در فرایند انباشت بخار شیمیایی از یک بخار شیمیایی استفاده می گردد. [ ۲]
این نوشته برگرفته از سایت ویکی پدیا می باشد، اگر نادرست یا توهین آمیز است، لطفا گزارش دهید: گزارش تخلف
wiki: انباشت در خلاء