الومینیم نیترید

آلومینیم نیترید. آلومینیم نیترید ( به انگلیسی: Aluminium nitride ) ( AlN ) نیترید آلومینیم است. فناوری سرامیک های نیترید آلومینیم از سال ۱۹۸۴ میلادی به بعد به سرعت تکامل یافته، اما بهترین توصیف محصولات درآغاز این راه، اطلاق عنوان مواد ناسازگار ( نامرغوب ) است. این به دلیل پائین بودن کیفیت پودر و نبود تجربه فناوری ساخت در مقیاس تجاری بود. در نتیجه هم مواد پودر اولیه و هم قسمت های ساخته شده از آن ها خواص ضعیفی داشتند؛ بنابراین اغلب نتایج به خصوص در فرایند فلزینه کاری زیرلایه تکرارپذیر نبودند. طی دوره۱۹۸۵ تا ۱۹۸۸میلادی نگرانی هائی در مورد پایداری در برابر اکسیداسیون و هیدراته شدن، شیمی و پرداخت سطح، فلزینه کاری سیستم های خمیری، هدایت حرارتی، لحیم کاری و هزینه برای استفاده از نیترید آلومینیم در پکیج های میکروالکترونیکی وجود داشت. پکیج ها و زیرلایه های AlN با کیفیت بالا در اوائل دهه۱۹۹۰میلادی ظهور یافتند. دوام و قوام محصولات AlN به طور چشمگیری افزایش یافت.
سیستم های فلزینه کاری سازگار و قوی مانند سیستم فلزینه کاری اکسیدی برای نیتریدها توسعه داده شد و فناوری فرایندها به گونه ای توسعه یافت که اکنون سرامیک های نیترید آلومینیم در سرتاسر جهان در پکیج های تجاری به کار برده می شوند. علاوه بر این، سیستم های هم سوز پکیج های چند لایه AlN توسعه داده شده و به عنوان یک جایگزین برای کاربردهای نیروگاهی مطرح شده اند. هدایت حرارتی بالا به همراه ضریب انبساط حرارتی نسبتاً کم نزدیک به Si دو ویژگی مهم برای استفاده از سرامیک AlN درصنعت میکروالکترونیک به عنوان ماده زیرلایه یا پکیج هستند. در مقایسه با دیگر مواد سرامیکی عایق الکتریکی فقط نیترید آلومینیم و اکسید بریلیم هدایت حرارتی بالائی دارند. هر چند هدایت حرارتی اکسید بریلیم بالاتر است اما به دلیل سمی بودن، تولید آن محدود شده و نیترید آلومینیم جایگزین آن در کاربردهای صنعتی شده است.