اثر انتن

اثر آنتن. اثر آنتن، در ظاهر بیشتر آسیب رساننده اکسید گیت ناشی از پلاسما، اثری است که به طور بالقوه می تواند باعث مشکلات بازده و قابلیت اطمینان در هنگام ساخت ادوات نیم رسانا ماس شود. [ ۱] [ ۲] [ ۳] [ ۴] [ ۵] کارخانه ها ( fabs ) معمولاً قوانین آنتن را تهیه می کنند، اینها قوانینی هستند که باید رعایت شوند تا از این مشکل جلوگیری شود. نقض چنین قوانینی را نقض آنتن می نامند. کلمه آنتن در این زمینه چیز نادرستی است — مشکل در واقع جمع شدن بار الکتریکی است، نه معنای عادی آنتن، که وسیله ای برای تبدیل میدان های الکترومغناطیسی به/از جریان های الکتریکی است. گاهی اوقات از عبارت اثر آنتن در این زمینه استفاده می شود، [ ۶] اما این مورد از آنجا که اثرات زیادی وجود دارد، کمتر مشاهده می شود، [ ۷] و این عبارت مشخص نمی کند که منظور چیست.
شکل ۱ ( الف ) نمای جانبی یک شبکه معمولی در یک مدار مجتمع را نشان می دهد. هر شبکه حداقل شامل یک راه انداز خواهد بود که باید حاوی انتشار سورس یا درین باشد ( در کاشت فناوری جدید استفاده می شود ) و حداقل یک گیرنده که از یک الکترود گیت بر روی یک دی الکتریک گیت نازک تشکیل شده است ( به شکل ۲ نگاه کنید به نمای دقیق ترانزیستور ماس ) . از آنجا که دی الکتریک گیت بسیار نازک است، فقط چند مولکول ضخامت دارد، نگرانی بزرگ شکست این لایه است. این ممکن است اتفاق بیفتد اگر شبکه به نوعی کمی بالاتر از ولتاژ عملیاتی تراشه ولتاژ بدست آورد. ( از نظر تاریخی، دی الکتریک گیت سیلیسیم دی اکسید بوده است، بنابراین بیشتر نوشته ها به آسیب اکسید گیت یا شکست اکسید گیت اشاره دارد. از سال ۲۰۰۷، برخی از تولیدکنندگان در حال جایگزینی این اکسید با مواد مختلف مختلف دی الکتریک با کاپای زیاد هستند که ممکن است اکسید باشند یا نباشند، اما اثر آن هنوز همان است )