[برق و الکترونیک] لیتوگرافی با اشعه ایکس - لیتوگرافی پرتوX فرایند لیتوگرافی برای انتقال الگوهای ماسک به پولک نیمرسانای پوشیده شده با ماده مقاوم ( سیلیسیم یا گالیم آرسنید ) که از پرتوX به جای نور فرابنفش یا باریکه الکترونی استفاده می کند . طول موجهای کوتاه تر پرتوهای X از 10 تا 50A در مقایسه با طول موجهای 2000 تا 3000A نور فرابنفش پراش را به حداقل می رساند و محدوده ی مفید لیتوگرافی را 0/1 آی سی یکپارچه ای با ابعاد 1میکرومتر گسترش می دهد محدودیت لیتوگرافی اپتیکی در ابعاد کوچکتر از 0/25میکومتر است .
