[برق و الکترونیک] عایق رو سیلیسیمی ساختار مرکبی که از لایه فعال سیلیسیمی نشانده شده روی زیر ساخت عایق ساخته می شود . یاقوت ( مانند یاقوت روسیلیسیمی )، دی اکسید سیلیسیم، نیترید سیلیسیم و حتی شکل عایقی سیلیکن ف نمونه هایی از این عایقها هستند . آی سی های ساخته شده در لایه فعال سیلیسیم می توانند سختی تابش، سرعت و دماهای کاری بالاتری داشته باشند .
