نانو لیتوگرافی پروب اسکن، به ترتیب ، از یک یون متمرکز یا یک پرتو الکترونی برای تفکیک یک گاز پیش ساز استفاده می کنند ، تکنیک های نانو لیتوگرافی افزودنی مستقیم هستند که اجازه رشد مواد خاص را در مکان های مورد نظر بدون نیاز به مقاومت می دهند.+ عکس و لینک