در فناوری نانو الکترونیک فرآیندهایی سطح زیر لایه ( Si و Gi ) از جمله سوزش توسط فناوری پلاسما و باریکه یونی صورت میگیرد. اینگونه مدارهای مجتمع با ویژگیهای منحصر به فرد خود در مقیاس نانومتری کاربردهای متنوعی از سیستمهای ( مِزوسکوپیک ) دارند.+ عکس و لینک
