نانو لیتوگرافی اشعه ایکس - با استفاده از روش چاپ مجاورتی اجرا می شود و به اشعه ایکس نزدیک میدان در پراش فرنل متکی است. رزولوشن نوری آن تا 15 نانومتر افزایش یافته است.+ عکس و لینک
