نانو لیتوگرافی یک اصطلاح گسترده برای توصیف فرآیند های مختلف برای ایجاد الگوهای مقیاس نانو در محیط های مختلف است که رایج ترین آنها مواد نیمه رسانا سیلیکون است.
منابع نانو لیتوگرافی پرتو یون متمرکز با توجه به ثبات و سهولت استفاده از آن به طور عمده بر پایه تکنولوژی نانو بود ، اسکن پرتو یون متمرکز روی سطح یک ماده باعث حذف مواد با الگوی مورد نظر و با دقت نانو مقیاس
... [مشاهده متن کامل]
... [مشاهده متن کامل]
بالا می شود ، و برای طراحی مفهومی نانو لیتوگرافی پرتو یون متمرکز استفاده می کند و قطعات مشابه را ادغام می کند
