در واقع به وسیله نانو لیتوگرافی پروب اسکن طرح یک فرایند مبتنی بر نیروی اتمی - میکروسکوپ به نام نانو لیتوگرافی اکسیداسیون در ساخت اَدواتی مانند نانو سیم های Si با اشکال مختلف با وضوح زیر 20 نانومتر ( نوار
... [مشاهده متن کامل]
... [مشاهده متن کامل]
مقیاس 100 نانومتر به جز در تصویر مرکزی ) با استفاده از این روش لیتوگرافی کاوشگر اسکن ساخته شده است.
