[برق و الکترونیک] لیتوگرافی باریکه الکترونی چند گانه شکل پیشرفته ای از لیتوگرافی باریکه الکترونی که در آن یک باریکه الکترونی به صدها باریکه تقسیم می شود . به طوری که سیستم می تواند به طور همزمان عمل زدودن مدار بندی تمام مدارهای مجتمع روی یک پولک را انجام دهد . باریکه تک وقتی که به یک صفحه فلزی با سوراخهای زیاد می رسد. تقسیم می شود .و هر سوراخ مانند یک عدسی جداگانه برای جهت دادن جریان الکترونی به سوی پولک زیر آن عمل می کند .
