[برق و الکترونیک] سیستمهای ریز الکترومکانیکی رده ای از ماشینها، محرکها و حسگرهای کوچک سازی شده که با ریز ماشینکاری و از سیلسیم ساخته می شوند . محصولات عملی که امروزه به عنوان MEM ساخته می شوند شامل شتاب سنجها، انژکتورهای سوخت، نازلهای فوران جوهر و حسگرهای فشار هستند .
