[برق و الکترونیک] نمیرسانای اکسید - فلزی ساختار فلز - عایق - نیمرسانا در لایه عایق اکسیدی بر روی ماده ی زیر ساخت . در زیر ساخت سلیسیمی لایه عایق ساز دی اکسید سیلیسیم است . ترانزیستورهای اثر میدان، خازنها، مقاومتهاو قطعات نیمرسانای دیگری با این ساختار ساخته می شود . فرایند MOS شامل CMOS , DMOS, NMOS, PMOS می شود .
