[برق و الکترونیک] تداخل سنج لیزری نوعی تداخل سنج با استفاده از منبع نور لیزر که تغییر مکانهای تا حدود 5 متر را با توان تفکیک خطی nm45 و تفکیک زاویه ای 0/1 اندازه می گیرد . از این دستگاه برای کنترل دوربینهای نوری در فرایند تولید مدارهای مجتمع استفاده می شود .
