[برق و الکترونیک] پس، پراکندگی یون پراکندگی کشسان و زاویه - بزرگ یونهای تک انرژی در باریکه ای که به طرف یک لایه ی فلزی روی سیلیسیم یا سایر سیستمهای چند لایه ی نازک هدایت شده ست . با استفاده از یک آشکار ساز این یونها آشکار شده و پالسی متناسب با انرژی یون پس پراکنده تولید می شود که برای تعیین غیر مخرب توزیع عمیقی اتمها بعد از فلز پوشانی به کار می رود .
