[برق و الکترونیک] طیف سنج هلیمی نوعی طیف سنج جرم کوچک که وجود در سیستمهای خلأ را آشکار می کند. برای تشخیص وجود نشت ،مقداری هلیم به نقاط مشکوک در سطح بیرونی سیستم افشانده می شود و سپس با ملاحظه ی نشانگر خروجی طیف سنج نقطه ی دقیق ورود هلیم تعیین می شود .
