[برق و الکترونیک] زدایش گازی زدودن بخش هایی ازماده نیمه رسانا از طریق واکنش آن با یک گاز که منجر به تشکیل ترکیب فرار شود . نمونه آن زدایش قطعات سیلسیمی به وسیله کلرید هیدروژن در 1000 درجه سیلسیوس یا بیشتر است .
