منابع نانو لیتوگرافی پرتو یون متمرکز با توجه به ثبات و سهولت استفاده از آن به طور عمده بر پایه تکنولوژی نانو بود ، اسکن پرتو یون متمرکز روی سطح یک ماده باعث حذف مواد با الگوی مورد نظر و با دقت نانو مقیاس بالا می شود+ عکس و لینک
