[برق و الکترونیک] مولد باریکه ی ( ای ) مولد باریکه ی نازک الکترونی که می تواند مستقیماً عناصر مدار - مجتمع را روی پولک نیمرسانای پوشیده از فوتورزیست ترسیم کند یا در فرایند ساخت ic از طریق ماسک به سطح پولک بتابد .
