[برق و الکترونیک] ماسفت توان دی ماس نوعی ماسفت توان که از طریق فرایند دی ماس عمودی ساخته می شود . دارای چندین سلول گیت سلیسیمی است که به منظور توزیع جریان و اتلاف گرما تشکیل شده اند . چگالی سلولها بیش از نیم میلیون در اینچ مربع است . در سطح زیرین تراشه ی آن ساختاری از سورسهای موازی و متصل به هم و یک درین مشترک وجود دارد .