[برق و الکترونیک] فرایند سی ماس نوعی فن آوری ساخت مدارهای مجتمع که ترانزیستورهای فت کانال-Nو کانال-p با مد افزایشی را روی یک بستر ترکیب می کند. برای دستیابی به سرعت و چگالی بیشتر، از فرایند های استاندارد گیت فلزی و گیت پلی سیلیسیمی استفاده می شود.
