[برق و الکترونیک] نشست بخار شیمیایی فرایند پوشاندن ماده از طریق گرم کردن آن تا نقطه ی ذوب در محفظه خلأ و تزریق گازهایی به داخل محفظه که توسط جسم جذب شده و به آن می چسبد . از این فرایند برای آلایش نیمه رساناها با اتمهای دهنده یا پذیرنده و تغییر مشخصات الکتریکی آنها استفاده می شود. برای تشکیل لایه های فلزی یا اکسید نیز به کار می رود. - نشت بخار شیمیایی
