[برق و الکترونیک] ریز ماشینکاری حجمی نوعی فن آوری ریز ماشینکاری و بر اساس زدایش سیلیسیم تک بلور ساختارهای مکانیکی ریز که با این فن آوری تولید می شوند از بلور سیلیسیم یا از لایه های رشد یافته یا نشانده شده روی سیلیسیم ساخته می شوند .
